Ⅲ族氮化物的高分辨三维共聚焦拉曼成像

2017-08-30 14:12  下载量:6

资料摘要

资料下载

结构化的衬底被广泛运用于半导体研究当中,特别是在最新的半导体发展中受到了广泛关注。对器件质量和可靠性的严格要求使得对器件结构内部应变和结晶特性的全面了解变得越来越重要。X射线衍射一般用于测量薄膜厚度、晶格常数和层状结构的应变状态。而扫描电子显微镜(SEM)用于观察表面结构与缺陷,从而了解生长过程。在本应用实例中,将展示三维共聚焦拉曼成像测量的结果,揭示了信号的改变是来源于应变和晶格结构的变化。

资料下载

文献贡献者

WITEC代表处
银牌会员 | 第7年
查看全部资料
相关资料 更多

相关产品

当前位置: WITec 资料 Ⅲ族氮化物的高分辨三维共聚焦拉曼成像

关注

拨打电话

留言咨询