PIE Scientific远程等离子体清洗机

PIE Scientific 远程等离子体清洗机

用途

用于SEM，FIB，XPS，ALD，EUVL等高真空室的远程等离子体清洗机。

产品描述 

由PIE Scientific开发的SmartClean™技术结合了最先进的等离子体放电技术在核研究和半导体行业。 我们的等离子体清洁机可以根据任何规格打败竞争对手。 此外，我们的产品仅提供许多独特的功能。

应用领域

1.      FE-SEM，FIB和TEM的原位样品清洗。

2.     半导体设备去除污染，如CD-SEM、EBR、EBI、EUVL。

3.     高真空室清洁，以清除电子显微镜，XPS，AES系统上的碳氢化合物污染物。

4.     XPS、SIMS和 AES的样品清洗。

5.     对ALD在有机溶剂清洗后，进行样品清洗。

案例应用

用户评论