型号: | AFM5500M |
产地: | 日本 |
品牌: | |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。
特点
1. 自动化功能
高度集成自动化功能追求高效率检测
降低检测中的人为操作误差
4英寸自动马达台
自动更换悬臂功能
2. 可靠性
排除机械原因造成的误差
大范围水平扫描
采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。
样品 :硅片上的非晶硅薄膜
高精角度测量
普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。
样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)
* 使用AFM5100N(开环控制)时
3. 融合性
亲密融合其他检测分析方式
通过SEM-AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。
SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨烯/SiO2)
上图是AFM5500M拍摄的形貌像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。
通过分析AFM图像可以判断,SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。
石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差。
SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。
与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。
相关产品
VMC650 三线立式加工中心
Instron英斯特朗9440落锤冲击试验机
美国标乐AbrasiMatic™ 300 砂轮切割机
英斯特朗 Instron 5980系列双立柱落地式拉力机
ZQ-5 型全自动切割机
台湾瑞领LW-9389 界面材料热阻及热传导系数量测装置
美国博勒飞Brookfield VAPOR PRO XL AUTOSA水分分析仪
二手电镜-日本日立S-3400N二手扫描电子显微镜
法国依拉勃开普泰 Smart 无管道净气型储药柜
法国依拉勃开普泰 Smart 无管道净气型通风柜
赛默飞Nicolet iS20傅立叶变换红外光谱仪
Niton XL3t GOLDD+ 手持式XRF分析仪
梅特勒TGA/DSC 3+同步热分析仪至尊型
瑞士梅特勒-托利多T90全自动电位滴定仪
梅特勒-托利多T50全自动电位滴定仪
关注
拨打电话
留言咨询