AFM-IR纳米红外在半导体行业的应用

2017-11-13 14:48  下载量:8

资料摘要

资料下载

基于光热诱导的AFM-IR纳米红外技术,采用AFM探针作为探测器,检测材料在中红外光源触发下产生的热膨胀信号,进而获得纳米区域的红外光谱和红外成像。可检测微电子器件上的有机污染物,进行未知物成分鉴定。

资料下载

文献贡献者

ANASYS INSTRUMENTS
银牌会员 | 第3年
查看全部资料
相关资料 更多

相关产品

当前位置: ANASYS INSTRUMENTS 资料 AFM-IR纳米红外在半导体行业的应用

关注

拨打电话

留言咨询