便携式半导体车间毒气检测仪

便携式半导体车间毒气检测仪

参考价:¥2.9万
型号: pGas200-ASM-SC-6s
产地: 北京
品牌: 北斗星仪器
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产品详情


pGas200-ASM-SC-6s便携式半导体车间毒气检测仪规格型号如下:

一、pGas200-ASM-SC-6s 便携式气体检测仪

技术参数

技术

说明

PH3-4PH:0.05-20ppm

SiH4-4SL:0.05-50ppm

AsH3-3E1:0.015-1ppm

Chlorides: 0.7-30ppm

Fluorides: 0.25-10ppm

H2:0-4%VOl

EC

EC

EC

EC

EC

EC

扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力.

Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应;

Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测.

二、PGas200-ASM-SC_4s 便携式气体检测仪

技术参数

技术

说明

Hydrides:0.05-50ppm

Chlorides: 0.7-30ppm

Fluorides: 0.25-10ppm

H2:0-4%VOl

EC

EC

EC

EC

扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力.

Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应;

Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过标定系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测.

三、PGas200-ASM-SC_3s1 便携式气体分析仪

技术参数

技术

说明

Hydrides:0.05-50ppm

Chlorides: 0.7-30ppm

Fluorides: 0.25-10ppm

EC

EC

EC

扩散式采样; 半导体车间全毒气报警

 

四、 PGas200-ASM-SC_3s2 便携式气体检测仪

技术参数

技术

说明

Hydrides:0.05-50ppm

TOX:0-30ppm

H2:0-4%VOl

EC

EC

EC

扩散式采样;半导体车间全毒气报警

TOX-ADS02 对氯化物,氟化物,溴化物,硫化物,胺,苯类皆有高灵敏度响应.

*其中H代表氢化物;Cl代表氯化物,包括氯化氢; F代表氟化物,包括氟化氢;

 北斗星多组分气体检测仪.jpg

便携式半导体车间毒气检测仪技术指标:

          BD4主机测试ADC分辨率: 0.025%FS

          电化学探头准确度: ±1-2%读数(一般)

          长期稳定性: +/-10% /年 (一般)

          分析器响应时间:< 10ms

          探头响应时间:<1min

          仪器使用环境: 温度:-10℃~60℃; 湿度:10%~90%R(无结露)

          仪器保存环境: 温度: 0℃~50℃; 湿度:10%~80%R(无结露)

          电化学探头直接采样: 温度: 0-40℃; 压力:<1.1 kgf/cm2

          供电: 6V充电蓄电池

          连续使用时间: >24Hr/每次充电; 电池置放时间1周。

便携式半导体车间毒气检测仪pGas200-ASM-SC-6s,气体分析仪,有毒有害气体检测仪,请与北京市北斗星工业化学研究所联系。

北京市北斗星科技有限公司为您提供北斗星仪器便携式半导体车间毒气检测仪pGas200-ASM-SC-6s,北斗星仪器pGas200-ASM-SC-6s产地为北京,属于国产多组分气体分析仪,除了便携式半导体车间毒气检测仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供CPT2000气体报警仪气体变送器北斗星仪器、便携式气体检测仪pGas2000-ASM、便携式气体水分测试仪/湿度测试仪/露点仪,北斗星仪器客服电话400-675-0653,售前、售后均可联系。

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