微加工中的机械测试

微纳米科技发展迅速，是多学科交叉应用的前沿科学技术。微机电系统、微光电系统、生物微机电系统等是微纳米技术的重要应用领域。传统加工方式无法满足这些领域的器件的加工精度，随着技术要求的提供，加工技术从最初的毫米级（10^-3m）到微米级（10^-6m）和纳米级（10^-9m），人类的制造水平逐步由宏观尺度向微观尺度迈进。

例如MEMS的微加工工艺中，大量的工艺参数影响着MEMS结构的机械性能。FT-MTA03可用于对MEMS挠曲器件的面内和面外刚度（右上图）进行自动化阵列测试。通过定义目标刚度的上下限,用户可绘制合格器件（绿色）和不合格器件（红色）的硅片分布图（右下图）。通过简单的刚度测试可轻松识别出未从硅片上成功放的器件(非常高的刚度)和有裂纹的器件（低刚度）。绿色器件和器件总数的比值则为微加工的成品率。

随着精密器件的发展和不断扩大应用，微纳制造技术和微纳测试技术是未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键，其研发和应用标志着人类可以在微、纳米尺度认识和改造世界。（Femto Tools微纳力学测试系统正在进行纳米操作）

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