型号: | 5500M |
产地: | 日本 |
品牌: | 日立 |
评分: |
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AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。
特点
1. 自动化功能
高度集成自动化功能追求高效率检测,降低检测中的人为操作误差
2. 可靠性
排除机械原因造成的误差,大范围水平扫描
采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。
高精角度测量
普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。
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