型号: | SU3500 |
产地: | 日本 |
品牌: | 日立 |
评分: |
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产品简介
规格
项目 |
描述 |
|
二次电子分辨率 | 3.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm高真空模式) | |
7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm高真空模式) | ||
背散射电子分辨率 | 4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm低真空模式) | |
10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm高真空模式) | ||
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) | |
7 - 800,000倍(显示器显示倍率*6) | ||
加速电压 | 0.3 - 30kV | |
可变压力范围 | 6 - 650Pa | |
最大样品尺寸 | 直径 200mm | |
样品台 | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm | |
Z | 5 - 65mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
可观察区域 | 直径 130mm (旋转并用) | |
最大样品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
马达台 | 5轴标配 | |
电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 | |
高灵敏度半导体背散射电子检测器 | ||
EDX分析 WD | 10mm(取出角35°) | |
图像显示 | 操作系统 | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
图像显示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
小屏模式(800 × 600 像素) | ||
双图像显示(800 × 600 像素) | ||
四屏幕显示(640 × 480像素) | ||
信号混合模式 | ||
排气系统 | 操作 | 全自动排气 |
涡轮分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
机械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 |
(*2):以127mm×95mm(图像尺寸4"×5")的显示尺寸规定倍率
(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的显示尺寸规定倍率
(*4):Windows®是微软公司在美国和其他国家的注册商标
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