型号: | YSP63FA |
产地: | 日本 |
品牌: | 雅马拓 |
评分: |
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可进行样品传输系统定制
● 操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作(选购品)。
规格
型号 |
YSP63FA |
模式 |
RIE(DP模式选购) |
高频输功率 |
600W |
反应台尺寸 |
W385×D362mm |
内腔尺寸 |
W395×D378×H45mm(内尺寸) |
反应气体 |
2进气系统(氧气、氩气) |
反应气体流量控制 |
质量流量控制器 |
真空泵 |
旋转式真空泵(约500L/min) |
气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
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