| 型号： | C1-008 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | 雅马拓 |
| 评分： |
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用途：光刻工艺后段，光刻胶固化
特点
•最高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
•程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。
•快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
•配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
•全不锈钢材质。
•在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
技术规格
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型号 |
洁净厌氧高温气氛炉 C1-008 |
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温度范围 |
室温+30～360℃ |
室温+50～500℃ |
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温度分布精度 |
±4.0℃（at 360℃） |
±8.0℃（a500℃） |
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温度上升时间 |
60min（室温→360℃） |
90min（室温→500℃） |
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温度下降时间 |
90min（360℃→50℃） |
120min（500℃→50℃） |
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氧浓度 |
20ppm以下 |
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氧浓度下降时间 |
约45分钟 |
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洁净度 |
100级 |
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装备 |
氮气导入装置、水冷装置、差压计等 |
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内尺寸 |
W600×D600×H600mm |
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电源 |
3相 AC380V | |
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