型号: | 3D XRM1272 |
产地: | 德国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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微焦点CT-半导体元器件X射线显微成像系统-布鲁克代理商
CT基本原理
微焦点CT/三维X射线显微镜(3D XRM)是一种基于X射线的成像技术,使用微型计算机断层扫描技术(Micro Computed Tomography)。包括扫描和重构两个主要部分,Micro/Nano 表明其分辨率可达到微米/亚微米级别。
半导体产业是国家重点支持和鼓励的发展方向,半导体器件封装和内部缺陷检测越来越重要,而微焦点CT/三维X射线显微镜(3D XRM),可以在无损不破坏样品的情况下,清晰地观测到电子元器件的分布情况及封装器件的内部结构,同时,可检测虚焊、连锡、断线等缺陷信息,可以三维重构整个半导体器件内部结构,对于研发和后期加工工艺的改进、提升起到重要的指导作用。
SkyScan 1272 High Resolution Micro CT针对半导体领域小样品器件,如电阻电容、摄像头的镜头等有着超高分辨率优势。
小型电子产品
Inductor – 3 μm voxel size
Chip – 2 μm voxel size
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