Omega/Theta XRD-Omega扫描-单晶X射线衍射技术

Omega/Theta XRD-Omega扫描-单晶X射线衍射技术

参考价:¥80万 - 100万
型号: Omega/Theta XRD X射线单晶定向仪
产地: 德国
品牌: Freiberg Instruments
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产品详情

德国Freiberg Instruments(弗莱贝格仪器)公司的Omega/Theta XRD主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发,该仪器采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向,且可集成至全自动生产线中,是可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

图片1.png

 

工作原理▼

l  Omega/Theta XRD可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3(蓝宝石)、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体

可测整块晶体取向mapping(独有技术)进行测量;

可测直径可达590mm(可根据需求定制更大检测尺寸);

检测精度可达0.003°,检测速度快——5s/试样

可测摇摆曲线检测晶体质量;

制样简便,且可集成至全自动化生产线中,快速晶体质量检测分拣(日处理量可达5000片)

 

用户群体▼

德国Freiberg Instruments(弗莱贝格仪器)公司Omega/Theta X射线衍射仪系列 (XRD)在国内已有200多家客户,如蓝思科技、四联集团、协鑫集团、广东惠伦晶体、中电五十四所时频事业部等。

而该仪器在欧美国家等国家晶体生产研发巨头企业中同样应用广泛,如美国IPG Photonics公司、美国II-VI Advanced Materials公司、美国Crystal IS 公司、德国Si Crystal公司、波兰热舒夫理工大学。德国博世(Bosch)公司借助于此设备的Omega扫描技术石英振荡器晶体产量从55%直接提升至95%

 

应用实例▼

单晶涡轮叶片检测图:

 

α方向:

     

β方向:

 


γ方向

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