型号: | Omega/Theta XRD X射线单晶定向仪 |
产地: | 德国 |
品牌: | Freiberg Instruments |
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德国Freiberg Instruments(弗莱贝格仪器)公司的Omega/Theta XRD主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发,该仪器采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向,且可集成至全自动生产线中,是可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。
工作原理▼
l Omega/Theta XRD可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3(蓝宝石)、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体;
l 可测整块晶体取向mapping(独有技术)进行测量;
l 可测直径可达590mm(可根据需求定制更大检测尺寸);
l 检测精度可达0.003°,检测速度快——5s/试样;
l 可测摇摆曲线检测晶体质量;
l 制样简便,且可集成至全自动化生产线中,快速晶体质量检测分拣(日处理量可达5000片)。
德国Freiberg Instruments(弗莱贝格仪器)公司Omega/Theta X射线衍射仪系列 (XRD)在国内已有200多家客户,如蓝思科技、四联集团、协鑫集团、广东惠伦晶体、中电五十四所时频事业部等。
而该仪器在欧美国家等国家晶体生产研发巨头企业中同样应用广泛,如美国IPG Photonics公司、美国II-VI Advanced Materials公司、美国Crystal IS 公司、德国Si Crystal公司、波兰热舒夫理工大学。德国博世(Bosch)公司借助于此设备的Omega扫描技术,其石英振荡器晶体产量从55%直接提升至95%。
单晶涡轮叶片检测图:
α方向:
β方向:
γ方向:
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