Freiberg Instruments单点硅片寿命测试 MDPpro 晶圆片/晶锭寿命检测仪MDPpro- 晶圆片/晶锭寿命检测仪

产品详情

弗莱贝格的MDPpro（晶圆片/晶锭寿命检测仪）系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等，其非接触式检测和无损成像（μPCD /MDP(QSS)）的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说，MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商的标准仪器。

特性&优势▼

u 无接触和无破坏的半导体检测；

u 特殊“underneath the surface”寿命测量技术；

u 对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度；

u 自动设置硅錠切割标准；

u 空间分辨p/n电导型变换检测；

u 多项数据同时自动检测扫描，5幅测量图形同时绘制；

u 坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装，仅需要电源。

应用实例▼

1.日常寿命测量，质量控制和检验

高产量：>240块/天或>720片/天
测量速度：对于156x156x400mm标准晶锭，<4分钟
良品率提升：1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
质量控制：用于过程和材料的质量监控，如单晶硅或多晶硅
沾污检测：起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
可靠性：模块化和坚固耐用的工业仪器，更高可靠性，运行时间> 99%
可重复性:> 99.5%
电阻率：可做面扫描，不需经常校准

2. 精密材料研发

a.铁浓度测定
b.陷阱浓度测定
c.硼氧测定
d.依赖于注入的测量等
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信息已认证

企业名称: 束蕴仪器（上海）有限公司
企业类型:
信用代码: 310120003388984
成立日期: 2016年09月23日
注册资本: 500
经营范围: 仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

型号：	MDPpro- 晶圆片/晶锭寿命检测仪
产地：	德国
品牌：	Freiberg Instruments
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