在线椭偏仪 In-situ series
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
上海致东全光谱椭圆偏光测厚仪
由椭圆仪校正量测色度坐标量测时间1-3s ,精确度高国内自行研发,价格合理量测膜厚(N.K)值 .量测穿透率(T%).反射率(R%)FFT for very thick layer (up to 50 um)
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