高性能中档行程线性平移台

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产品介绍：

ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台，采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件，适用于高占空比的应用。

刚性，FEM 优化的挤压铝制机身，可防止热弯曲效应
预加载，无间隙滚珠丝杠传动可实现快速移动，步进时间和稳定时间较短
精密循环滚珠轴承滑块可实现精确的线性运动，防止出现滚珠轴承罩移位
50-250mm 的行程
轻工业应用中长期使用的理想选择
即插即用 - ESP 兼容

技术参数：

型号	ILS50CC	ILS150CC
行程范围	50 mm	150 mm
最 da速度 1	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm
中心负载	250 N	250 N
轴向负载 (+Cx)	40 N	40 N
逆轴向负载 (-Cx)	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 μm	±1.5 μm
精度，保证值	±1.5 μm	±2.5 μm
单向重复精度，典型值	±0.20 μm	±0.25 μm
单向重复精度，保证值	±0.50 μm	±0.50 μm
双向重复精度，典型值	±0.40 μm	±0.45 μm
双向重复精度，保证值	±1.0 μm	±1.0 μm
俯仰，典型值	±15 μrad	±37 μrad
俯仰，保证值	±25 μrad	±75 μrad
俯仰顺应性	10 μrad/Nm	10 μrad/Nm
偏摆，典型值	±12 μrad	±20 μrad
偏摆，保证值	±25 μrad	±65 μrad
偏摆顺应性	10 μrad/Nm	10 μrad/Nm
滚转顺应性	15 μrad/Nm	15 μrad/Nm
原点重复精度	±0.5 μm	±0.5 μm
电缆长度	3 m	3 m
螺纹类型 2	1/4-20	1/4-20
重量	4.2 kg	4.8 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS	Compliant	Compliant

Notes:

Also available in ILS-CCL versions.

Max speed is reduced to 50mm/sec for ILS-CCL versions
Also available in a metric M- version.

产品特征：

高速高重复度直流电机

直流电机的特点是速度快，运动平稳，效率高，功率/重量比高。因此，对于要求高动态速度和

严格可重复性的应用，它们比步进电机平台更可取。 ILS-CC和ILS-HA平台与Newport的 XPS

和< a href =“ https://www.newport.com/f/esp301-3-axis-dc-and-stepper-motion-

controller”> ESP301 运动控制器。 ILS-CCL级仅与Newport的 SMC100CC 运动控制器兼

容，其zui大速度为 ILS-CC的一半。

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Nwport高性能中档行程线性平移台

高性能中档行程线性平移台

Notes:

高速高重复度直流电机

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