TMC Stage-Base主动隔振系统（光学平台）
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TMC Stage-Base主动隔振系统（光学平台）

参考价：¥1
型号： Stage-Base
产地： 美国
品牌： TMC
评分：
核心参数
青岛森泉光电有限公司
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TMC Stage-Base主动隔振系统（光学平台）

TMC继续在*进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的*级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的*效载荷运动能够非常快速地稳定，以大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供先*的主动振动和运动消除系统。

优势：

Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种*级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。

Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了*越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内*佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。

规格：

采用*特的STACIS®技术

采用高力、加长行程的压电致动器

*效载荷的位置可重复性在微米以内

框架安装设计

6个主动自由度

可选的VCM前馈和/或反馈

始于0.6 Hz的主动隔振

响应平台运动的快速稳定时间

无软空气悬架

通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器

简单、坚固且经济高效



青岛森泉光电有限公司为您提供TMC Stage-Base主动隔振系统（光学平台），TMCStage-Base产地为美国，属于进口光学平台，除了TMC Stage-Base主动隔振系统（光学平台）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学平台,森泉光电客服电话400-860-5168转4131，售前、售后均可联系。

TMC光学平台Stage-Base的工作原理介绍光学平台Stage-Base的使用方法?TMCStage-Base多少钱一台?光学平台Stage-Base可以检测什么？光学平台Stage-Base使用的注意事项？TMCStage-Base的说明书有吗？TMC光学平台Stage-Base的操作规程有吗？TMC光学平台Stage-Base报价含票含运吗？TMCStage-Base有现货吗？
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