如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量?

2021-02-05 16:32  下载量:0

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  为了减少振动,弹性体垫块被有效地用金属垫片短路,从而导致更刚性、非共振结构,但这几乎没有改善。振动标准不符合任何版本的基座和模式,质量仍然很差。         基座支撑结构被移除,并安装了STACIS®主动压电消振系统。STACIS基座被直接放置在现有的底座下面。将工具支撑在STACIS上,显著降低了整体地震振动水平,并达到了制造商的地面振动规范。更重要的是,STACIS在模式质量方面提供了显著的改进。

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