光电器件null检测 | TMC STACIS主动隔振器在抬高的钢支架上的隔振应用-青岛森泉光电有限公司

方案摘要

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自设计系统钢支架支撑：系统放置在客户自行制作的钢支架上隔振器的锁定：案例中要求对上下表面进行隔振器锁定，我们不建议对隔振器的顶部与客户台面之间进行锁定，但提供了隔振器与钢支架的锁定方案。

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配置单

方案详情

客户情况：

待隔振设备：用户自设计大理石系统

底座是钢架，钢架上放3个stacis ，stacis上放的是负载

质量：1500kg

针对以上情况，森泉经过技术工程师和厂家评估提出如下要求：

1.钢支架需要灌浆固定到混凝土地面上。

2.钢支架需满足如下截图中的平面度和刚度要求。

3.钢支架的First resonance必须＞200Hz。

3.地面需满足如下截图中的刚度要求。

系统方案配置：

21-030-02 Statics

主动隔振系统（3个中负载的支腿+控制器+其他配件）

System with 3 medium load isolators 900-2100 lbs (410-955 kg) capacity per isolator；

Active degrees of freedom：6；

Active bandwidth：0.6Hz-150Hz；

Passive natural frequency: 18 Hz vertical and horizontal;

Effective active resonant frequency：0.5 Hz；

Isolation at 1 Hz：40%-70%；

Isolation at ≥2 Hz：≥90%；

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)：0.3 sec

现场安装调试

隔振器与钢支架之间的锁定

TMC标准隔振性能：

实际测量隔振效果（钢支架支撑对隔振效果有影响，但不明显）

文献贡献者

青岛森泉光电有限公司

金牌会员丨第7年

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