型号: | ISC150T-RTSS |
产地: | 广东 |
品牌: | 速普仪器 |
评分: |
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本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。
另外附加旋转/偏转样品台选配件,具有公转+自转+偏转行星式样品台,针对3D结构及多孔隙结构样品多角度均匀喷镀导电层。
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