高通量(场发射)扫描电子显微镜Navigator-110
高通量(场发射)扫描电子显微镜Navigator-110
高通量(场发射)扫描电子显微镜Navigator-110

高通量(场发射)扫描电子显微镜Navigator-110

参考价:¥650万
型号: NeuroSEM100
产地: 北京
品牌: 聚束科技
评分:
荣誉奖项:
核心参数
创新点
1. 国际首创并拥有自主知识产权的高效电子收集和成像系统,采用同轴电子直接探测技术和高速FPGA采集模块,使该系统在世界上首次实现低加速电压(1kV)下100M/s级二次电子(Secondary Electron)和背散射电子(Backscatter Electron)的超高速同步成像!该系统具备非比寻常的视频级(200fps@512X512)纳米分析能力,使扫描电镜从传统意义的纳米“照相机”变成纳米“摄像机”。 2. 针对于低加速电压、大视野下分辨率而专门设计的电子光学镜筒光路,采用浸没摇摆电磁复合透镜设计,使其在1kV加速电压下即可获得1.6nm、5kV下可获得1.2nm的高分辨率能力,且具备高分辨率视场的区域较传统扫描电镜大4倍以上,而且保持高线性度(1‰的计量级)。 3. 该系统高度的智能化结合超高速成像能力(4TB/天),使之具备了跨尺度信息融合能力。它可以全自动的超大区域(100mmX100mm)全息地图集式成像模式,可以在同时保持高分辨率情况下对样品进行全自动的无遗漏信息采集,并绘制成Google地图式全景信息浏览。结合人工智能(A.I.)算法,可以对工程级材料进行整体纳米晶粒分布统计、各类缺陷的标记与归类、成分分布等电镜微区分析。并且标配的真空预抽室和伸缩臂机构,使之具备真正意义上的“一键全自动换样”。 4. 完备的二次开发接口,为最大化地满足客户定制需求,提高扫描电镜的图像采集效率,发挥电镜高通量性能,NeuroSEM 100高通量电镜供完备的二次开发接口,以供客户定制个性化的图像采集流程。
聚束科技(北京)有限公司
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产品详情


高通量(场发射)扫描电子显微镜  Navigator-110

Navigator-110高通量场发射扫描电子显微镜,专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计,广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术,为您提供超凡的成像体验。

-产品介绍

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的Navigator-110高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了全球最高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。

我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。


-产品优势

•  综合成像速度>10倍传统电镜
•  全球最快二次电子与背散射电子双通道同步成像
•  海量SEM图像快速生成数据分析报告
•  从百毫米到纳米级的跨尺度材料表征


-产品特点

极速成像

通过自主研发的硬件和软件设计,实现全球最快二次电子与背散射电子双通道同步成像:视频级高分辨成像。

高清视频级摄像帧率,使其具有实时观测样品动态变化的能力。

高成像质量

独特的浸没式电磁复合物镜系统,有效地减小低落点能量下物镜的象差,达到极高分辨能力。

与物镜场复合的静电式扫描偏转系统,相比于传统电镜的磁偏转系统,极大地减小图像边沿畸变,可获得兼具高分辨率和大视野的完美图像

In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器,双通道同时高速成像,兼具高灵敏度和高信号电子收集效率,即使在nA级别的大束流条件仍可获得极佳的图像衬度和信噪比。

配备主动补偿系统(激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿),消除环境因素干扰,保证成像高分辨率高质量。

跨尺度大规模成像

超高速扫描成像能力,结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法,实现对超大区域样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描,并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像,使之具备了跨尺度信息融合能力,可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征。

智能分析

大数据智能分析 ,海量SEM图像快速生成数据分析报告;

智能图像处理,定制化图像测量、统计、分析。

操作简单

全自动样品载入与导航,一键完成样品更换,操作便捷,节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接,对指定区域快速准确实现定位和观测。

7*24小时全自动化无人值守运行能力。


-产品参数

产品产地
国产
二次电子图象分辨率

1.3nm@1kv, 1.1nm@5kv, 0.9nm@15kv

背散射电子图像分辨率2.3nm@1kv,2.0nm@5kv,1.6nm@15kv
加速电压
0.02-30kv
放大倍数
30x - 1,000,000x
仪器种类
场发射
最大进样品
200mmX200mmX20mm(8寸晶圆)
最大采集
150mmX150mm(6寸晶圆)


 

聚束科技(北京)有限公司为您提供聚束科技高通量(场发射)扫描电子显微镜Navigator-110NeuroSEM100,聚束科技NeuroSEM100产地为北京,属于国产扫描电镜(SEM),除了高通量(场发射)扫描电子显微镜Navigator-110的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多扫描电镜(SEM),聚束科技客服电话400-803-1618,售前、售后均可联系。

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