资料摘要
领航者系列高通量(场发射)扫描电子显微镜为聚束科技(北京)有限公司研发生产的具有独立自主知识产权的全新场发射扫描电镜产品系列,该系列通用型扫描电镜基于独立开发高效能的全直接电子探测技术和高通量电镜平台架构,使整体的成像效率提升一个数量级。 在大面积生物组织成像(重构)、高通量跨尺度材料表征、全尺寸芯片分析等方面,拥有非常好的应用前景。
文献贡献者
真正定义高通量扫描电镜,开启全新应用方式!
简介:聚束科技(北京)有限公司(以下简称“聚束科技”)将广泛应用半导体工业的高通量(High-throughput)技术与场发射扫描电镜(FE-SEM)技术相结合,首次真正定义了高通量扫描电镜的概念: -高图像采集速率(X20倍) -精准平台定位及自动拼接(100nm) -7天-24小时全自动稳定连续采样 -全自动进送样品 -智能化全流程控制 在国际上首次突破性地采用了全直接电子探测器技术(专利),使图像采集量子效率(QE)提升一个数量级。全新设计的高分辨率、Schottky场发射电子光学镜筒结构给“领航者”(Navigator)系列高通量扫描电镜提供了兼具高分辨率和高电子接收效率的非凡功能。同步的视频级成像的二次电子(SE)和背散射(BSE)图像,使BSE的成像速度首次实现了与SE同等的量级,因此获得全新高清动态的视频级电镜体验!
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