型号: | SEMPrep 2 |
产地: | 其他国家 |
品牌: | Technoorg |
评分: |
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SEM样品制备离子减薄仪
斜面切削 表面抛光
机台原产地
匈牙利
样品类别
一般材料、热敏材料、生物材料、EBSD应用、工业材料、半导体材料、非热敏材料
应用模式
离子束斜面切削、离子束表面抛光
产品参数
※离子枪
聚焦高能量离子枪:~10 keV
(或选配聚焦超高能量离子枪:~16 keV)
聚焦低能量离子枪:100 eV~ 2 keV
※样品台
样品尺寸 圆直径26 mm x 3-14 mm
(切削样品台可选配 30o,45o 或90o 倾斜样品台)
样本倾斜 0° 至 30°
样品旋转 平面旋转 360o
样品摆动 平面摆动+10o 至 +40o
样品冷却(选配项)针对热敏样品的LN2 冷冻样品台,或保护样品过热的Peltier冷却台
※监测成像系统
高分辨率CMOS彩色相机,手动变焦50-400x放大倍数
※计算机控制系统
简单易用用户操作界面,全自动离子枪和切削参数设置、操作控制
※真空系统
薄膜泵及涡轮泵的普发真空系统,搭配Pirani/Penning真空计
※供气系统
99.999% 纯度氩气,电动针阀高精度控制工作气体流量
应用实例
比较使用机台前后样品实际拍摄照片
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