磁场测试、震动测量、噪声检测等仪器如何选？科技大厂选择Spicer智能检测仪的原因

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环境干扰会影响电子束设备运作而导致检测结果精准度下降，若是置之不理甚至可能影响到整体制程、让成本大幅上升。因此，不论是实验室要安装电子束设备的场地勘察、厘清以改善干扰源造成的设备故障、长期监控环境参数等等都会有环境量测的需求。

英国环境改善专家Spicer Consulting的智能检测仪SC11、SC28挟带其优势已成为国内外科技大厂所使用，测量包含CD-SEM、EBL或是其它半导体设备的环境参数以确保符合规定。市面上环境量测工具五花八门，Spicer的智能检测仪成为各家首选的原因在于：

【Spicer检测仪】磁场强度测试误差小

测量磁场干扰一般包含：磁场强度、磁场方向及磁场变化。常见的磁场强度测试仪器包含：磁强计、霍尔效应传感器、线圈探头等。

Spicer系列的智能检测仪可X、Y、Z三个方向同时量测，故取得的数据较为精准。相较于一般磁场强度测试仪若仅能一次测量一个方向，容易因为短时间的磁场变化而产生些微误差，加上每测量一个方向后都需重新归零，也增加了人为因素导致的数据误差。

此外，Spicer系列的智能检测仪侦测出的数据不含地磁，若是在需要确保测试结果不受地磁干扰的一些应用上，会比包含地磁数据的一些磁场强度测试仪更适合。

Spicer检测仪追踪环境干扰源头，检测介面量测出火车的干扰影响甚大。

测量振动干扰包含：振动幅度、频率、速度、加速度及位移。

在振动测量上，Spicer系列的智能检测仪同样具X、Y、Z三轴同时量测的优势，并提供振动幅度、频率、速度、加速度及位移等多个方向上的振动参数。相较于单轴的振动测量仪，Spicer检测仪可取得更为准确的资讯。

磁场强度测试仪、振动测量仪、噪声检测仪等设备分开采购令人头痛，市面上虽有部分设备商可依需求加装不同测量配备，但在软件上如未整并完全，在数据分析上仍有储多不便。

Spier检测仪可测量磁场、震动和噪音(SC28还可多测量温度与湿度)，更重要的是，其内建智能软件可整并所有侦测的环境干扰源数据，当下即可看测量的参数变化。

磁场测试、震动测量、噪声检测等仪器如何选？科技大厂选择Spicer智能检测仪的原因

Spicer智能检测仪-SC28同时查看磁场、震动、噪音数据

我们独家代理Spicer Consulting的智能检测仪包含SC11、SC28，同时也提供这些设备的环境量测服务，包含长期/短期量测方案，可侦测磁场、震动、噪音、温度、湿度干扰源。欢迎与我们联系

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