EM科特扫描电镜应用——硅片上的微纳结构观测

2020/08/31   下载量: 0

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应用领域 电子/电气
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参考标准 国际标准

纳米结构通常是指尺寸在 100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础,按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系,这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。

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纳米结构通常是指尺寸在 100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础,按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系,这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。


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