高分辨率光谱仪-猫头鹰系列(Owl Series)

台湾超微光学

2019/09/05 10:28

台湾超微光学于2019年第三季推出- 猫头鹰系列(Owl Series, OW) 智能型光谱仪，

分辨率(Resolution) 在波长850nm 和940nm 实测可达到0.1 nm以上，

特别适用于VCSEL (Vertical-Cavity Surface -Emitting Laser, 垂直腔面发射激光) 晶圆测试、3D感测技术、LD激光量测、LIBS (Laser-Induced Breakdown Spectrometer, 激光诱导击穿光谱仪)、膜厚量测̷等相关应用。

▲ 台湾超微光学OW高解析光谱仪外观

谈到近期最热门的零组件话题，应该非VCSEL莫属。随着3D感测模组成为新一代iPhone X/XS的应用，使其核心技术VCSEL再次成为市场瞩目焦点。

VCSEL属于红外线激光技术的一种，拥有共振腔设计、光发散角度小、光电转换效率高、资料传输速度快等优点。因此VCSEL产品应用范围极广，各领域开发需求日渐蓬勃，例如: IR远距离安全监视照明(850nm)、红外线油墨验钞设备(850nm)、皮肤深层医疗激光(850nm)、3D感测辨识技术(940 nm)、AR/VR扩增实境及虚拟实境(940 nm) 、VCSEL晶圆检测设备(850 & 940 nm) 等等。

面对要同时追求光谱仪波长范围与分辨率的双重挑战，现有八种标准机型规格表现如下:

型号 Model	分辨率 Resolution	传感器 Sensor Type	波长范围 Wavelength Range	感光度 Sensitivity
OW1070	<0.1 nm	Toshiba TCD1304 (3648 pixel)	810 - 875 nm 或 920 - 970 nm	标准感度
OW2070		Toshiba TCD1304 (3648 pixel)		提升至少两倍
OW1080		Hamamatsu S13496 (4096 pixel)		标准感度
OW2080		Hamamatsu S13496 (4096 pixel)		提升至少两倍
OW1070	0.1~0.2 nm	Toshiba TCD1304 (3648 pixel)	835 – 955 nm	标准感度
OW2070		Toshiba TCD1304 (3648 pixel)		提升至少两倍
OW1080		Hamamatsu S13496 (4096 pixel)		标准感度
OW2080		Hamamatsu S13496 (4096 pixel)		提升至少两倍

l 此表格所示, 皆为在使用 5 μm 入光狭缝(Slit)之参数。

OW系列光谱仪因应客户需求将波长设定选择在 810 - 875 nm (关注850nm表现) 或者920 - 970 nm (关注940nm表现)，亦可提供835 - 955 nm 波段范围 (同时量测850 及 940nm)。搭配高密度光栅与高像素传感器以及OtO高速运算固件，得以实现精确又快速的微秒(μs)量测，每秒取得500笔光谱，在高分辨率光谱仪市场中。未来放眼LD量测与LIBS应用，还可依客户需求，在200-1000nm波长范围中，客制不同波段的高分辨率光谱仪，保守预估可帮助增长2020年的营业额20%以上。

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