中瑞祥提垃机镀膜机使用步骤

2023-06-25 08:29  下载量:0

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中瑞祥提垃机镀膜机使用步骤  需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。   蒸发镀膜般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜   使用步骤   电控柜操作   1. 开水泵、气源。   2. 开总电源。   3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再入下步操作。约需5分钟。   4. 开机械泵、预抽,开涡轮分子泵电源、并启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。   5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关预抽,开前泵和真空阀继续抽真空,抽真空到达定程度后才能开右边的真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。   操作   1. 总电源。   2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源

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