YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统
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YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统

参考价:¥5万 - 10万
型号: YES–EcoClean
产地: 美国
品牌: 耶斯
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产品详情

EcoClean系统为当今和下一代技术创建了先进的解决方案,为工程师提供了晶片的灵活性和可靠性:

•去除光刻胶
•公关目的
•聚酰亚胺去除
•有机物去除
•氧化铜去除

Yield Engineering Systems(YES)已将EcoClean设计为高产量,拥有成本低的单晶圆光刻胶去除系统。 ICP远程源产生原子氧,该氧与晶片表面的光刻胶发生化学反应。 通过采用下游抗蚀剂剥离工艺,可以实现高去除率,而不会造成基板和器件的电损坏或缺陷。 EcoClean提供了自动化的处理方法,气体消耗低,是一种环保的“绿色”解决方案。


上海迹亚国际商贸有限公司为您提供耶斯YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统,耶斯YES–EcoClean产地为美国,属于等离子体表面处理仪,除了YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供美国YES–G1000等离子清洗系统、美国YES-EcoCoat硅烷单层气相沉积系统、美国YES HMDS真空固化/蒸汽灌注系统,迹亚国际商贸客服电话400-860-5168转4419,售前、售后均可联系。

行业应用
售后服务
  • 产品货期: 15天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后3天内
  • 电话支持响应时间: 1小时内
  • 是否提供维保合同:
  • 维修响应时间: 3天内
  • 节假日是否提供上门服务:
  • 是否支持上门巡检:
  • 是否提供预防性维护计划:
  • 是否提供期间核查方案:
  • 是否提供免费应用支持:
  • 是否提供付费应用支持:
  • 是否提供线上售后平台:
  • 维修付款方式: 先维修后付款
  • 基本维修资料公开: 维修图纸;技术参数;专用工具;故障代码;维修手册
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