型号: | Lumina-200 |
产地: | 美国 |
品牌: | NANONEX |
评分: |
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Lumina-200独立式高分辨率光刻/对准器。 Lumina系列为电子,光电,MEMS和许多其他应用中的高分辨率,精确对准,接触和接近光刻提供了高质量,可靠且经济高效的解决方案。 它具有易于使用的界面,高精度的载物台,高性能的光学元件和较小的占地面积。
主要特点
高分辨率光刻
高精度对准平台
最先进的对准光学
精确的间隙控制
用户友好的PC控制
占地面积小
具有成本效益的设计
背面对齐可选
应用领域:半导体器件 *微机电系统 *光电子学 *高级包装 *电力设备
手册X-Y-? 带称重传感器的电动Z 移动范围: X和Y:1英寸 ?:10度 Z:0.25英寸 掩膜加载能力 5”口罩标准 其他尺寸可选 基板装载能力 4”标准 其他尺寸可选 对准 模式:接近、柔和、硬 对准光学 分割栏 5倍物镜,1到7倍变焦 2个独立的手动X,Y,Z显微镜移动 精细粗调 通过CCD相机成像 曝光系统 紫外线:汞灯,带有可选的G线或I线过滤器 紫外线灯功率:500瓦 紫外线均匀照射 电动紫外线灯移动 具有Microsoft Windows的基于PC的控制计算机 用户友好的控制软件 PC控制的CCD视频 紫外线灯曝光由电脑控制 占地面积:31英寸乘44英寸(780毫米乘1110毫米)
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