法拉第杯用于精确测量SEM、MicroProbe或FIB的束流。在仪器系统上选择单点模式,聚焦使电(离)子束进入法拉第杯的100μm光阑。光阑下方的空腔吸收了几乎了所有的电(离)子,设计的吸收效率为98.11%以上。将法拉第杯置于样品台上,使用仪器配备的束流计(Keithley Pico-ammeter)即可测试或显示吸收束流。
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