德Zeiss Sigma电子束直写仪SEM

德Zeiss Sigma电子束直写仪SEM

参考价：面议
型号： Zeiss Sigma SEM
产地： 德国
品牌：
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品详情

德Zeiss电子束直写仪SEM 型号：Zeiss Sigma SEM

主要功能：
·利用曝光抗蚀剂，采用电子束直接曝光，可在各种衬底材料表面直写各种图形，图形结构（最小线宽为10mm），是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件，光子晶体，低维半导体等前沿领域。

·技术指标：
·肖特基热场发射电子源
·加速电压：100V～30kV
·放大倍率：12X～1000,000X
·SEM分辨率：1nm@30kV,1.5nm (15kV),2.8nm（1kV）
·电子束曝光：10nm（20kV）
·场拼接精度：<100nm
·扫描频率：6MHz
·图形格式：GDSII


深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供德Zeiss Sigma电子束直写仪SEM Zeiss Sigma SEM ，nullZeiss Sigma SEM 产地为德国，属于其他，除了德Zeiss Sigma电子束直写仪SEM 的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。

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