产品详情
SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC ,HBO 350W/S,HBO 1000W/D,HBO 5000W/S
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详细介绍
SUSS Micro Tecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯
灯管型号 寿命(H) 适用SUSS苏期光刻机型
HBO 200W/DC 1000H MJB3, MJB4
HBO 350W/S 600H MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6, MA8
HBO 5000W/S 1000H MA300
以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯光刻机型:
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/%E7%81%AF%E6%8A%80%E6%9C%AF%E5%8F%82%E6%95%B0.png)
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