日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV

参考价：¥200万 - 300万

型号：	JBX-3200MV
产地：	日本
品牌：
评分：

核心参数

产地类别：进口
最小线宽：详见资料
电子束直径：详见资料
束流电压范围：详见资料

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产品详情

日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV

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JBX-3200MV是用于制作28nm～22/20nm节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。最先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统?

产品规格：

拼接精度	≦±3.5 nm
套刻精度	≦±5 nm

产品特点：

· JBX-3200MV是用于制作28nm～22/20nm节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。

· 最先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统

· 利用步进重复式曝光的优点，结合曝光剂量调整功能及重叠曝光等功能，能支持下一代掩模版/中间掩模版（mask/reticle）图形制作所需要的多种补偿。

深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV ，nullJBX-3200MV 产地为日本，属于进口电子束曝光机，除了日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV 的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。

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