美国SONIX晶圆检测机AutoWafe Pro

美国SONIX晶圆检测机AutoWafe Pro

参考价：¥30万 - 50万
型号： AutoWafe Pro
产地： 美国
品牌：
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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美国SONIX 晶圆检测设备 AutoWafe Pro.

 

SONIX AutoWafer Pro™ 是专为全自动晶圆检测设计的机型，主要应用在Bond wafer，MEMS 内部空洞、离层检测，TSV量测方面。

● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准
● Cassette装载，全自动检测，支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件


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