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日本JEOL聚焦离子束加工观察系统JIB-4000
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JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后,就能对样品表面进行SIM观察 、研磨,沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较,SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异,这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构。
离子源 | Ga (镓)液态金属离子源 |
加速电压 | 1~30kV(5 kV/步) |
放大倍率 | ×60 (用于视场搜索) ×200~×300,000 |
图像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
最大束流 | 60 nA (at 30 kV) |
可变光阑 | 12 档(马达驱动) |
离子束加工形状 | 矩形、线状、点状 |
样品台 | 块状样品用 5 轴测角样品台 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ~ -23 mm T:-5 ~ +60° R:360°无限 样品最大尺寸: 28 mmφ(高度13 mm)、50 mmφ(高度2 mm) |
· 主要附件
· 气体注入系统 (IB-02100GIS2)
· 碳沉积圆筒 (IB-52110CDC2)
· 钨沉积圆筒(IB-52120WDC2)
· 白金沉积圆筒 (IB-52130WDC2)
· 侧插式测角样品台 (IB-01040SEG)
· 束流探测器 (IB-04010PCD)
· 操作面板(IB-05010OP)
· 样品台导航系统 (IB-01200SNS)
· FIB Tip-on(尖端上可以安装附件的)样品架(EM-02210)
· FIB 块状样品用样品架FIB (EM-02220)
· FIB 块状样品用样品架1(EM-02560FBSH1)
· FIB 块状样品用样品架2 (EM-02570FBSH2)
· FE-SEM 样品架适配器 (EM-02580FSHA)
· 穿梭移动夹头Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)
· 原位样品提取系统 (EM-02230)
产品特点:
· JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后,就能对样品表面进行SIM观察 、研磨,沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较,SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异,这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构。
· 高性能FIB镜筒
· JIB-4000采用高性能的FIB镜筒,最大离子束流高达 60 nA,能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨,制备100 μm以上用来观察的截面非常轻松。
· 用户友好的FIB装置
· JIB-4000高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性。用户友好的外观和GUI设计,建立了使用方便的FIB系统。即使不是FIB专家也能够轻松操作,此外,该装置小巧紧凑为业界最小体积,安装地点的选择范围很大。
· 双样品台
· JIB-4000标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用,此外还可以增配侧插式测角台(TEM用Tip-on 样品架可以直接插入)。块状样品马达驱动样品台能观察整个表面为20 mm x 20 mm的块状样品,样品交换可以通过气锁式系统快速进行。侧插式测角台与JEOL的TEM系统使用的相同,因此Tip-on (尖端上可以安装附件的)样品架与JEOL的TEM系统可以通用,这样,FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。
· 丰富的附件
· 有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统,对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件,该系统可以支持样品制备以外的应用。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本JEOL聚焦离子束加工观察系统JIB-4000 ,nullJIB-4000 产地为日本,属于透射电子显微镜(透射电镜、TEM),除了日本JEOL聚焦离子束加工观察系统JIB-4000 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多透射电子显微镜(透射电镜、TEM),蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。