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德国Diener研究型等离子清洗机Bell Jar 35
Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备，其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发，溅射 ，电子束蒸发，SEM（扫描电子显微镜）样品制备的金属涂层，也适用于传统的等离子体工艺。
基本设备
。外壳约宽560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容积：约35升
。供电电源：230V/16A
气源
。3个质量流量控制器（MFCs）
真空腔室
。硼硅玻璃材质的玻璃罩，直径315MMx高500MM
溅射源
。1个溅射源2"-3"+挡板（可为反应过程选配排烟管和进气口）
基材支架
。直径140MM（可选择旋转型，基材加热器，基材冷却装置）
。可切换为等离子预处现的电极（清洗，活化，蚀刻）
控制系统
。PCCE控制系统（Microsoft Windows XPe）
压力测量
。Pirani
发生器
。频率：40KHz, 功率 0-500W
13.56MHz, 功率 0-300W
。直流偏置电源或单极性脉冲，最大功率300W，最大电压600V，直流电
。发生器为 0-100% 无级可调型
真空泵
。规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其它选项
备件套件，压力计，腐蚀性气体设计结构，气瓶，减压器，加热板，温度显示器，加热型腔室，Faraday Box, 等离子体聚合配件，试墨水，氧气发生器，慢速通风装置，慢速抽吸装置，TEM样品架法兰，维护/服务，当地语言的文件，现场安装，包括培训，可应需求提供的其它选项。
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