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德国Diener研究型等离子清洗机Bell Jar 35
Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备,其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发,溅射 ,电子束蒸发,SEM(扫描电子显微镜)样品制备的金属涂层,也适用于传统的等离子体工艺。
基本设备
。外壳约宽560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容积:约35升
。供电电源:230V/16A
气源
。3个质量流量控制器(MFCs)
真空腔室
。硼硅玻璃材质的玻璃罩,直径315MMx高500MM
溅射源
。1个溅射源2"-3"+挡板(可为反应过程选配排烟管和进气口)
基材支架
。直径140MM(可选择旋转型,基材加热器,基材冷却装置)
。可切换为等离子预处现的电极(清洗,活化,蚀刻)
控制系统
。PCCE控制系统(Microsoft Windows XPe)
压力测量
。Pirani
发生器
。频率:40KHz, 功率 0-500W
13.56MHz, 功率 0-300W
。直流偏置电源或单极性脉冲,最大功率300W,最大电压600V,直流电
。发生器为 0-100% 无级可调型
真空泵
。规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)
其它选项
备件套件,压力计,腐蚀性气体设计结构,气瓶,减压器,加热板,温度显示器,加热型腔室,Faraday Box, 等离子体聚合配件,试墨水,氧气发生器,慢速通风装置,慢速抽吸装置,TEM样品架法兰,维护/服务,当地语言的文件,现场安装,包括培训,可应需求提供的其它选项。
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