| 型号： | Prexision-MMS |
| 产地： | 瑞典 |
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瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
详细介绍
掩膜计量系统
主要优势
*更佳的配准: 30%
*更好地将掩膜套合到掩膜上: 20%
*更短的周转时间: 30%
。 最新的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复性
。 用我们的专利技术改善配准测量。
。因为第一次测量的结果精确无误，这大大给您节省了周转时间。
。 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。
基于最精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在，您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了！
为充分利用其性能，您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的，这样您的光掩膜才能以最高的质量描绘出来。
Prexision-MMS 提供两个型号。G8型最高可处理用于8代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于G10型，最高可处理11代显示器尺寸。
技术指标 Prexision-MMS
掩膜对掩膜套合3σ[nm] : 40
配准3σ[nm] : 65
关键尺寸可重复性3σ[nm]: 50
最大尺寸: G8
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