美TED PELLA 自动离子溅射仪 108AUTO

参考价：¥12万 - 15万

型号：	108AUTO
产地：	英国
品牌：	Cressington
评分：

核心参数

产地类别：进口
靶材材质： Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配）
靶材尺寸：直径57mmx 0.1mm厚
控制方式：微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制
样品仓尺寸：直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
样品台尺寸：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm

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产品详情

美TED PELLA 自动离子溅射仪 108AUTO

93. 108AUTO.png

108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

· 自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和很佳的导电喷镀效果。

· 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

· 操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

· 在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

· 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

· 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。

· 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。

· 可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

技术参数
样品室大小	直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材	Au 靶为标配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mmx 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制	微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量	真空：Atm - 0.001mbar
厚度监控 (选件)	使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程
控制方法	自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供Cressington美TED PELLA 自动离子溅射仪 108AUTO ，Cressington108AUTO 产地为英国，属于进口离子溅射仪，除了美TED PELLA 自动离子溅射仪 108AUTO 的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多离子溅射仪,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。

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