日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000_价格-深圳市蓝星宇电子科技有限公司

产品详情

日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000

特点：

。采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件

规格：

项目		说明
放电：	类型：	磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
	电极组成：	反向平行盘(嵌入磁铁)
	电压：	最大 0.4 kV DC(直流可变)
	电流：	最大 40 mA DC
喷镀速率 ^*1(最大)： [条件]：压力：7 Pa 放电电流：40 mA 标靶与样品表面之间的距离：20 mm	Pt 靶(选配件)：	15 nm/min
	Pt-Pd 靶(选配件)：	20 nm/min
	Au 靶(选配件)：	35 nm/min
	Au-Pd 靶(选配件)：	25 nm/min
样品尺寸：	最大直径：	φ60 mm
样品尺寸：	最大高度：	20 mm
机械泵：		135/162 l/min (50/60Hz)
靶材^*2：		Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求：		单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸：	宽度：	450 mm
	长度：	391 mm
	高度：	390 mm
重量：		主机：约 25 kg 机械泵：约 28 kg

深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000，nullMC1000产地为日本，属于进口镀膜机，除了日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多镀膜机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。