URE-2000S 系列双面光刻机

一、 URE-2000S/A8 型双面光刻机

1.主要技术参数

曝光面积：8 英寸

曝光波长：365nm： 15mW/cm

405nm：15-30mW/cm2

分辨力：1mm

对准精度：±2 mm（双面,片厚 0.8mm）

±0.8mm（单面）

掩模尺寸：4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸

样片尺寸：3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸

厚度 0.1mm—2mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

调平接触压力通过传感器保证重复l

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-200mm

照明不均匀性：5%（Ф200mm 范围）

掩模相对于样片运动行程：

X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度

最大胶厚：500 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2°

具有循环水冷却系统

汞灯功率：1000W（直流，进口）

2．外形尺寸：1400mm（长）′1200mm(宽) ′2000mm（高）

3．设备构成与配置明细

设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底面 CCD 对准系统、电控

系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。

（1）曝光头系统包括：

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇.

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片、

场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台系统包括：

。掩模样片相对运动台（XY）

。转动台（θ）

。样片自动调平机构

。样片调焦机构l

。承片台 4 个 （3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸）

。掩模架 4 个 （4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸）

。掩模翻转及旋转机构

（3）对准显微镜（可选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括：

。LED 照明及配套电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 及光学成像系统

XYZ 底面对准工件台（两套）

（4）底面 CCD 对准系统

。LED 照明及配套电源

。CCD 及光学成像系统(2 套)

。数据采集卡

（5）电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（22 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件（选配）

。真空泵一台（无油静音型）

。空压机一台（无油静音型）

。恒温循环水冷却系统

。管道

二、 URE-2000S/A 型双面光刻机

1.主要技术参数

曝光面积：6 英寸

曝光波长：365nm： 20mW/cm

405nm：20-35mW/cm2

分辨力：1mm

对准精度：±2mm（双面,片厚 0.8mm）

                 ±0.8mm（单面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸

样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸

厚度 0.1mm—6mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口7

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

照明不均匀性： 2.5%（Ф100mm 范围）

                      3%（Ф150mm 范围）

掩模相对于样片运动行程：

X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度

最大胶厚：500 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2°

具有循环水冷却系统

汞灯功率：1000W（直流，进口）

2．外形尺寸：1400mm（长）′1200mm(宽) ′2000mm（高）

3．设备构成与配置明细

设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底面 CCD 对准系统、电控

系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。

（1）曝光头系统包括：

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇.

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片、

场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台系统包括：

。掩模样片相对运动台（XY）

。转动台样片自动调平机构

。样片调焦机构

。承片台 4 个 （2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸）8

。掩模架 4 个 （3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸）

。掩模翻转及旋转机构

（3）对准显微镜（可选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括：

。LED 照明及配套电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 及光学成像系统

。XYZ 底面对准工件台（两套）

（4）底面 CCD 对准系统

。LED 照明及配套电源

。CCD 及光学成像系统(2 套)

。数据采集卡

（5）电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（22 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件（选配）

。真空泵一台（无油静音型）

。空压机一台（无油静音型）

。恒温循环水冷却系统

。管道

（8）技术资料

。设备使用及维护说明书

三、 URE-2000S/B 型双面光刻机

1．技术参数

曝光面积：4 英寸

曝光波长：365nm： 25mW/cm

405nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

对准精度：±2mm（双面,片厚 0.8mm）

±0.8mm（单面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--6mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍10

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

照明不均匀性： 2.5%（Ф100mm 范围）

掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

最大胶厚：600 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2°

具有循环水冷却系统

汞灯功率：1000W（直流，进口）

2．外形尺寸：1400mm（长）′1200mm(宽) ′2000mm（高）

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)；

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场

镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构

。承片台 3 个 （3 英寸、4 英寸，5 英寸）

。掩模夹 3 个 （2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源（配备品 2 只）、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）11

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 光学系统

（4）底面 CCD 对准系统

。光源（配备品 2 只）、 电源

。成像光学系统(2 套)

。双通道数据采集卡

。CCD（两套）

（5）电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（监视器配 21 英寸宽屏液晶）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。无油静音真空泵一台

。无油静音空压机一台

。恒温循环水冷却系统

。管道

四、 URE-2000S/25A 型双面光刻机

1．技术参数

曝光面积：6 英寸

曝光波长：365nm：

功率密度：＞25mW/cm2

分辨力：1mm

正面双目双视场对准显微镜：

既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800

倍，物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍；目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

正面立式双 CCD 对准系统，光学放大，0.65-4.5 倍；具备侧向光源

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

对准精度：±2mm（双面，片厚 0.8mm）

             ±0.8mm（单面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

样片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸

 厚度 0.1mm--2mm(双面)

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 2.5%（Ф100mm 范围）

4%（Ф150 mm 范围）13

掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞灯功率：350W（直流，进口）

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口

最大胶厚：350 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（长）′900mm(宽) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。350 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，气缸自动调

。承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）双目双视场对准显微镜（带 CCD，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。立式双 CCD 光学对准系统 14

。侧向对准光源

（4）底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

（5）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台 （音静泵）

。管道

五、 URE-2000S/25 型双面光刻机

1．技术参数

曝光面积：4 英寸

曝光波长：365nm： 40mW/cm

405nm：20-45mW/cm2

分辨力：1mm

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

对准精度：±2mm（双面，片厚 0.8mm）

                 ±0.6mm（单面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--2mm(双面)

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 3%（Ф100mm 范围）16

掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞灯功率：350W（直流，进口）

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口

最大胶厚：350 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（长）′900mm(宽) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。350 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，气缸自动调

。承片台 3 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夹 3 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）17

。CCD 光学系统（选配件）

。XYZ 底面对准工件台

（4）底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

（5）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台 （音静泵）

。管道

六、 URE-2000S/35L（A）型双面光刻机

1．技术参数

曝光面积：6 英寸

光 源：紫外 LED

曝光波长：365nm： 10-25mW/cm

分辨力：1mm

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

对准精度：±2mm（双面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（单面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸

厚度 0.1mm--2mm ，

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性：2.5%（Ф100mm 范围）19

                       3%（ f150 mm 范围）

掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口

最大胶厚：400 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2°

2．外形尺寸：1300mm（长）′900mm(宽) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。LED 进口光源

。冷却模块

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，气缸自动调

。承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）20

。XYZ 底面对准工件台

（4）底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

（5）电控系统

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台 （音静泵）

。管道

七、 URE-2000S/35L（B）型双面光刻机

1．技术参数

曝光面积：4 英寸

光 源：紫外 LED

曝光波长：365nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

对准精度：±2 mm（双面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（单面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸

样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--2mm(双面)

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 2.5%（Ф100mm 范围）22

掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口，也具备接近模块接口

最大胶厚：400 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2°

2．外形尺寸：1300mm（长）′900mm(宽) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。LED 进口光源

。冷却模块

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，气缸自动调

。承片台 3 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夹 3 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）

。XYZ 底面对准工件台23

（4）底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

（5）电控系统

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台 （音静泵）

。管道

（8）技术资料

。使用维修说明书

。显微镜使用说明书

八、 URE-2000S/25S 型双面光刻机

1．技术参数

曝光面积：4 英寸（或 6 英寸）

曝光波长：365nm： 40mW/cm

405nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最

大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

对准精度：±2.5mm（双面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（单面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） 25

厚度 0.1mm--2mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 3%（Ф100mm 范围）

                       5%（ f150 mm 范围）

掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞灯功率：350W（直流，进口）

最大胶厚：350 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（长）′1000mm(宽) ′1800mm（高）

3．配置

（1）曝光头（两套）

。冷光椭球镜

。350 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，气缸自动调

。承片台：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）

。掩模夹：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）26

。XYZ 底面对准工件台

（4）底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

（5）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台 （音静泵）

。管道