URE-2000 系列紫外单面光刻机
此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17
URE-2000/600 紫外光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-600%20%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%8D%95%E9%9D%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1、设备主要技术指标:
(1)光束口径: 650mm×650mm
(2)有效曝光面积:600mm×600mm
(3)分辨力:≤3μm
(4)对准精度:±1.5μm
(5)对准显微镜中心距:75mm-600mm 可调
(6)掩模尺寸:650mm×650mm
(7)样片尺寸:可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm
×600mm,厚度为 0.2mm~20mm 的多种规格样片;
(8)光源不均匀性:≥ 95%(Ф600mm)
(9)掩模相对于样片运动行程:X: ±15mm; Y: ±15mm; Z:15mm Φ: ±10o
(10)曝光面光强:>15mW/cm2(i、g、h 线)
(11)汞灯功率:2500W(直流)
(12)曝光量设定方式:定时(倒计时方式 0.1s-9999.9s,设定精度 0.1s)
2.技术主要组成部分
大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由:高均匀照明曝光系统、对准工件台系
统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下:
(1)高均匀照明系统包括:
。冷光椭球镜;
。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。 XYZ 汞灯调节台;
。光学系统:椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ,2、蝇眼透
镜组、抛物面冷光反射镜;
。冷却风扇;
。循环水冷系统。
(2)对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台;
? 转动台;
? 样片调平机构,自动完成;
? 样片调焦机构,自动调整;
? 承片台 10 个:Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm
×600mm;
? 掩模夹 1 个:650mm×650mm;
? 抽拉式上下片机构。
(3)CCD 对准系统包括:
? 光源、电源;
? 显微镜工作台;
? 成像光学系统(两套);
? 数据采集卡;
? CCD 图像处理部件(两套)。
(4)电控系统包括:
? 大功率汞灯触发电源;
? 单片机控制系统;
? 薄膜开关面板;
? 控制柜桌;
(5)气动系统包括:
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等;
? 电磁阀驱动部件;
? 气动显示仪表。
(6)其他配套附件
? 真空泵一台(无油泵、SK-65C 型);
? 空压机一台(静音型、YB-W30 型);
? 水冷机一台(H35W 型);
? 配套接口管道
二、URE-2000/A12 紫外光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-A12%20%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%8D%95%E9%9D%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1、设备主要技术指标:
(1) 曝光面积: 300mm×300mm;
(2)分辨力: ±2μm;
(3)对准精度:±2μm;
(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;
(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;
(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;
(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;
(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6°;
(9)汞灯功率:1000W(直流);
(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;
(11)曝光峰值波长:365nm;
(12)光源平行度:<2°;
(13)曝光方式:定时(倒计时方式 0.1s—9999.9s);
(14)光刻版夹具兼容性
2.技术主要组成部分
(1)曝光头系统包括:
? 冷光椭球镜;
? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;
? XYZ 汞灯调节台;
? 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);
? 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台;
?(XY),转动台;
? 样片调平机构;
? 样片调焦机构;
? 承片台 3 个: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;
? 掩模夹 3 个: 7 英寸、9 英寸、13 英寸。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
?4 倍显微镜 2 只;
?照明光源 2 套;
? CCD 相机 2 只;
?22 英寸液晶显示器。
(5)电控系统:
? 汞灯触发电源(1000W);
? 单片机控制系统;
? 控制柜桌。
(6)气动系统系统包括:
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等
(7)其他配置与附件
?真空泵一台;
?空压机一台;
? 配套气管 10m;
三、URE-2000/A8 紫外光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-A8%20%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%8D%95%E9%9D%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1、设备主要技术指标:
(1) 曝光面积: 200mm×200mm;
(2)分辨力:±2 μm;
(3)对准精度:±2 μm;
(4)掩模尺寸:5 英寸、7 英寸、9 英寸;
(5)样片尺寸:4 英寸、6 英寸、8 英寸;
(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;
(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;
(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6°;
(9)汞灯功率:1000W(直流);
(10)曝光能量密度:≥ 15mW/cm 2 ;
(11)曝光峰值波长:365nm;
(12)曝光方式:定时(倒计时方式 0.1s—999.9s);
(13)调平接触压力通过传感器保证重复
(14)数字设定对准间隙和曝光间隙
(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口
2.技术主要组成部分
(1)曝光头系统包括:
? 冷光椭球镜;
? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;
? XYZ 汞灯调节台;
? 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);
? 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台;
?(XY),转动台;
? 样片调平机构;
? 样片调焦机构;
? 承片台 3 个: 4 英寸、6 英寸、8 英寸;
? 掩模夹 3 个:5 英寸、7 英寸、9 英寸。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
?4 倍显微镜 2 只;
?照明光源 2 套;
? CCD 相机 2 只;
?22 英寸液晶显示器。
(5)电控系统:
? 汞灯触发电源(1000W);
? 单片机控制系统;
? 控制柜桌。
(6)气动系统系统包括:
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等
(7)其他配置与附件
?真空泵一台;
?空压机一台;
? 配套气管 10m;
四、URE-2000A 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000A%20%E5%9E%8B%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%8D%95%E9%9D%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1.技术参数
?曝光面积:150mmX150mm
?曝光波长:365nm
?分辨力:0.8-1μm(胶厚 2 μm 的正胶)
?对准精度:±0. 6μm
?掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
?掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片)
厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
?曝光方式:定时(倒计时方式),0.1s-9999s
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性: 2.5%( ±100mm 范围),5%(±150mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口,也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6 度
?最大胶厚:500 μm(SU8 胶)
?光源平行性:1.2°
?曝光能量密度:>18mW/cm2
?冷却方式:循环水+风冷
?曝光面温度:<30°C
?汞灯功率:1000W(直流,进口
2.外形尺寸:1400mm(长)?1200mm(宽) ?1950mm(高)
3.配置
(1)曝光头
?冷光椭球镜
?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
?循环水冷系统
(2)对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构,自动完成
?样片调焦机构,自动调
?承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)
?掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)
?基片抽拉式上下片机构
(3)对准显微镜
?光源(配备品 2 只)、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
(4)CCD 对准系统(选配)
?光源(配备品 3 只)、电源
?成像光学系统(两套)
?数据采集卡
?三维工件台(两套)
?CCD(2 只)
(5)电控系统
?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
?计算机系统及液晶显示器
(6)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
(7)其他附件
?真空泵一台(无油泵)
?空压机一台(静音泵)
五、URE-2000B 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000B%20%E5%9E%8B%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%8D%95%E9%9D%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1.技术参数
?曝光面积:100mmX100mm
?曝光波长:365nm
?分辨力:0.8μm(胶厚 2μm 的正胶)
?对准精度:±0.6μm
?掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片)
厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性: 2.5%(±100mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜 3 对:4 倍、10 倍、20 倍; 目镜 3 对:10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口,也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?最大焦厚:600 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
?光源平行度:1.2o
?曝光能量密度:>20mW/cm
?汞灯功率:1000W(直流,进口)
2.外形尺寸:1400mm(长)?1200mm(宽) ?1950mm(高)
3.配置
(1)曝光头
?冷光椭球镜
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场
镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构,自动完成
?样片自动调焦机构
?承片台 4 个(?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸)
?掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
?基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜及 CCD 对准系统
?光源、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
?CCD
?21 英寸液晶显示器
(4)电控系统
?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
(5)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪
(6)其他附件
?真空泵一台(无油泵)
?空压机一台(静音泵)
?管道
(7)技术资料
?使用维修说明书。
? 显微镜使用说明书
六、URE-2000/35 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-35%20%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%8D%95%E9%9D%A2%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)
采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除
曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程
度很高,操作十分方便。
2.技术参数
?曝光面积:4 英寸
?曝光波长:365nm
?分辨力:0.8?m
?对准精度:?0. 8?m
?掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸:直径 ?10mm-- ?100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性: 3%(?100mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口,也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6o
?最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
?光源平行性:3.5 o
?曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 o
?单层曝光一键完成
?采用球气浮自动找平
?汞灯功率:350W(直流,进口汞灯)
3.外形尺寸:1200mm(长)±900mm(宽) ±1750mm(高)
4.配置
(1)曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(进口)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜
1、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构,自动完成
?基片抽拉式上下机构
?样片调焦机构,电机自动调
?承片台 4 个:±15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸(可按用户要求增减)
?掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)
(3)对准显微镜
?光源(配备品 2 只)、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
?CCD 对准系统,21 寸液晶显示器
(4)电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
(5)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
(6)其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
七、URE-2000/35A 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-35A%20%E5%9E%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)
采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除
曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程
度很高,操作十分方便。
2.技术参数
?曝光面积:6 英寸
?曝光波长:365nm
?分辨力:1-1.2μm(胶厚 2 μm的正胶)
?对准精度:±0.8μm
?掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
?掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性: 6%(±150mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口,也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6o
?最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
?光源平行性:3.5 o
?曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面温度<35 o
?单层曝光一键完成
?采用球气浮自动找平
?汞灯功率:350W(直流,进口)
3.外形尺寸:1200mm(长)?900mm(宽) ?1750mm(高)
4.配置
(1)曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、
冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构,三点自动完成
?样片调焦机构,电机自动调
?基片抽拉式上下机构
?承片台 4 个:?15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸(可按用户要求增减)
?掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(可按用户要求增减)
(3)对准显微镜
?光源(配备品 2 只)、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
?CCD 对准系统,21 寸液晶显示器
(4)电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
(5)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
(6)其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
八、URE-2000/35L 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-35L%20%E5%9E%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
一、 主要技术参数:
(1)曝光面积:100mm×100mm;
(2)照明不均匀性: ±3%( ±100mm 范围);
(3)分辨力:1.0μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长)
(4)对准精度:≤±0.8μm;
(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸;
(6)样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm、厚度 0.1mm--6mm;
(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°;
(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
(9)曝光光源:紫外 LED(进口);
(10)曝光波长:365nm;
(11)曝光强度:≥20mW/cm2;
(12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
(13)调平接触压力通过传感器保证重复
(14)数字设定对准间隙和曝光间隙
(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口
二、技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、
气动系统等部分构成。
(1)曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块;
◆ LED 光源整形模块;
◆ XYZ 光源位置调节台;
◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个
透镜)、场镜组、反射镜组);
◆ 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
◆ 掩模样片相对运动台(XY);
◆ 转动台;
◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;
◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;
◆ 承片台 4 个(?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 个);
◆ 掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 个)。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
◆ 对准光源 LED 灯;
◆ 双目双视场对准显微镜主体;
◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);
◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);
◆ CCD 部件;
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
(4)电控系统包括:
◆ 单片机控制系统;
◆ 紫外 LED 电源模块;
◆ 控制柜桌。
(5)气动系统包括:
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6).辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台(干泵);
◆ 静音空气压缩机 1 台;
◆ 配套接管 10m;
(7).备品备件
◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只);
九、URE-2000/35AL 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-35AL%20%E5%9E%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
一、 主要技术参数:
(1)曝光面积:150mm×150mm;
(2)照明不均匀性: ±4%( ±150mm 范围);
(3)分辨力:1.0μm(365nm 波长)
(4)对准精度:≤±0.8μm;
(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸;
(6)样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm、厚度 0.1mm--6mm;
(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°;
(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
(9)曝光光源:紫外 LED(进口);
(10)曝光波长:365nm;
(11)曝光强度:≥15mW/cm2 ;
(12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
(13)调平接触压力通过传感器保证重复
(14)数字设定对准间隙和曝光间隙
(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口
二、技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、
气动系统等部分构成。
(1)曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块;
◆ LED 光源整形模块;
◆ XYZ 光源位置调节台;
◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);
◆ 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
◆ 掩模样片相对运动台(XY);
◆ 转动台;
◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;
◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;
◆ 承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个);
◆ 掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个)。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
◆ 对准光源 LED 灯;
◆ 双目双视场对准显微镜主体;
◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);
◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);
◆ CCD 部件;
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
(4)电控系统包括:
◆ 单片机控制系统;
◆ 紫外 LED 电源模块;
◆ 控制柜桌。
(5)气动系统包括:
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6).辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台(干泵);
◆ 静音空气压缩机 1 台;
◆ 配套接管 10m;
(7).备品备件
◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只);
十、URE-2000/30 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-30%20%E5%9E%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1.技术特征
?高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又
可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储
?采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好
?对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换
?采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚
?上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研(可靠性好,演示方便)及工厂(效率高)尤为适宜
2.技术参数
?曝光面积:100mm×100mm(可升级为 6 英寸)
?曝光波长:365nm
?分辨力:≤1 μm(胶厚 1.5 μm 的正胶)
?对准精度:±0.6 μm
?显微镜扫描台运动范围:X:10mm;Y:10mm
?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能30
?照明不均匀性: 3%(±100mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
?曝光对准双工位自动切换
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和间隙
?具备压印模块接口,也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6o
?最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
?光源平行性:3 o
?曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面温度<35 oC
?单层曝光一键完成
?采用球气浮+三爪找平
?汞灯功率:350W(直流,进口)
3.外形尺寸:1400mm(长)±900mm(宽) ±1500mm(高)
4.配置
(1)曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、
冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
?光刻机底座
?工位切换台(气缸)
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构,三点自动完成
?样片调焦机构,电机自动调
?基片抽拉式上下机构
?承片台 4 个:?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm(可按用户要求增减)
?掩模夹 4 个:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)
?样片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
?光源、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
?CCD 对准系统,22 寸液晶显示器
(4)电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制面板
?控制柜桌
(5)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
(6)其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻机
![](http://www.lxyee.net/Upload/images/URE-2000-25%20%E5%9E%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA.png)
1.技术参数
?曝光面积:4 英寸
?曝光波长:365nm
?分辨力:1 μm(胶厚 2 μm 的正胶)
?对准精度:±0.8μm
?掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
?照明不均匀性: 3%( ±100mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
?掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6o
?最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
?光源平行性:3.5 o
?曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 o
?汞灯功率:350W(直流,进口)
2.外形尺寸:1200mm(长)?900mm(宽) ?1750mm(高)
3.配置
(1)曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构, 手动
?样片调焦机构,手动
?承片台 3 个(?50mm 、?75mm 、 ?100mm)
?掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
?基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
?光源(配备品 2 只)、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?CCD 及 21 英寸液晶显示器
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
(4)电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制箱
(5)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
(6)其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻机(台式)
1.技术参数
?曝光面积:4 英寸
?曝光波长:365nm
?分辨力:1.5μm(胶厚 2 μm 的正胶)
?对准精度:±1μm
?掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
?掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
?照明不均匀性: 5%(±100mm 范围)
?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,
光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
?掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?汞灯功率:200W(直流)
?曝光能量密度:6mW/cm
2.外形尺寸:650mm(长)±600mm(宽) ±900mm(高)36
3.配置
(1)曝光头
?200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?光学系统
?冷却风扇
(2)对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构,手动
?样片调焦机构,手动
?承片台 3 个(?50mm 、?75mm 、 ?100mm )
?掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
?掩模抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
?光源(配备品 2 只)、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
?物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
?CCD(台湾)
?21 寸液晶显示器
(4)电控系统
?汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制机箱
(5)气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
(6)其他附件
?真空泵一台
?管道
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供URE-2000 系列紫外单面光刻机,nullURE-2000 系列产地为四川,属于国产光学平台,除了URE-2000 系列紫外单面光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多光学平台,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。