URE-2000/A8 紫外单面光刻机
1、设备主要技术指标:
(1) 曝光面积: 200mm×200mm;
(2)分辨力:≤ 2μm;
(3)对准精度:±2μm;
(4)掩模尺寸:5 英寸、7 英寸、9 英寸;
(5)样片尺寸:4 英寸、6 英寸、8 英寸;
(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;
(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;
(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°;
(9)汞灯功率:1000W(直流);
(10)曝光能量密度:≥ 15mW/cm 2 ;
(11)曝光峰值波长:365nm;
(12)曝光方式:定时(计时方式 0.1s—999.9s);
(13)调平接触压力通过传感器保证重复
(14)数字设定对准间隙和曝光间隙
(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口
2.技术主要组成部分
(1)曝光头系统包括:
。 冷光椭球镜;
。德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;
。XYZ 汞灯调节台;
。 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);
。 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
。掩模样片相对运动台;
。(XY),转动台;
。 样片调平机构;
。 样片调焦机构;
。 承片台 3 个: 4 英寸、6 英寸、8 英寸;
。 掩模夹 3 个:5 英寸、7 英寸、9 英寸。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
。4 倍显微镜 2 只;
。照明光源 2 套;
。 CCD 相机 2 只;
。22 英寸液晶显示器。
(5)电控系统:
。 汞灯触发电源(1000W);
。 单片机控制系统;
。 控制柜桌。
(6)气动系统系统包括:
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等
(7)其他配置与附件
。真空泵一台;
。空压机一台;
。 配套气管 10m;
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供URE-2000/A8 紫外单面光刻机,nullURE-2000/A8产地为四川,属于国产光学平台,除了URE-2000/A8 紫外单面光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多光学平台,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。