| 型号： | URE-2000/25 |
| 产地： | 四川 |
| 品牌： | |
| 评分： |
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URE-2000/25 型紫外单面光刻机
技术参数
。曝光面积：4 英寸
。曝光波长：365nm
。分辨力：1 μm（胶厚 2 μm的正胶）
。对准精度：± 0.8μm
。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸：直径 Ф15mm-- Ф100mm(各种不规则片)，厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式：定时和定剂量
。照明不均匀性： 3%（ Ф100mm 范围）
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍， 光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
。掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6o
。焦厚：350μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：3.5 o
。曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 o
。汞灯功率：350W（直流，进口）33
2．外形尺寸：1200mm（长）x900mm(宽) x1750mm（高）
3．配置
（1）曝光头
。冷光椭球镜
。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构, 手动
。样片调焦机构，手动
。承片台 3 个（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
。掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
。光源（配备品 2 只）、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。CCD 及 21 英寸液晶显示器
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
（4）电控系统
。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制箱
（5）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
（6）其他附件
。真空泵一台
。空压机一台
。管道
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