型号: | URE-2000S/A |
产地: | 四川 |
品牌: | |
评分: |
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URE-2000S/A 型紫外双面光刻机
主要技术参数
。曝光面积:6 英寸
。曝光波长:365nm: 20mW/cm,405nm:20-35mW/cm2
。分辨力:1μm
。对准精度:± 2μm (双面,片厚 0.8mm),± 0.8μm (单面)
。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸,7 英寸
。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸,6 英寸,厚度 0.1mm—6mm
。曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口,也具备接近模块接口7
。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm
。照明不均匀性: 2.5%(Ф100mm 范围), 3%(Ф150mm 范围)
。掩模相对于样片运动行程:
X:± 5mm; Y:± 5mm;Thelta:± 6 度
。最大胶厚:500 μm (SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:2°
。具有循环水冷却系统
。汞灯功率:1000W(直流,进口)
外形尺寸:1400mm(长)x1200mm(宽) x2000mm(高)
设备构成与配置明细
设备主要由均匀照明曝光系统(曝光头)、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底面 CCD 对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
(1)曝光头系统包括:
。冷光椭球镜
。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇.
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 余个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台系统包括:
。掩模样片相对运动台(XY)
。转动台(θ)
。样片自动调平机构
。样片调焦机构
。承片台 4 个 (2 英寸、3 英寸、4 英寸,6 英寸)8
。掩模架 4 个 (3 英寸、4 英寸、5 英寸,7 英寸)
。掩模翻转及旋转机构
(3)对准显微镜(可选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)系统包括:
。LED 照明及配套电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 及光学成像系统
。XYZ 底面对准工件台(两套)
(4)底面 CCD 对准系统
。LED 照明及配套电源
。CCD 及光学成像系统(2 套)
。数据采集卡
(5)电控系统
。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统(22 英寸宽屏液晶显示器)
(6)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(7)其他附件(选配)
。真空泵一台(无油静音型)
。空压机一台(无油静音型)
。恒温循环水冷却系统
。管道
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