优选

日本Ulvac返回式磁控溅射装置

参考价：面议

型号：	CS-200Z
产地：	日本
品牌：
评分：

核心参数

产地类别：进口

展位推荐更多

日本RION气体粒子计数器KA-82

日本RION气体粒子计数器KA-03

日本理音RION气体粒子计数器KA-02

产品详情

Load-Lock Type Sputtering System 返回式真空溅射装置 CS-200z

装置外观·功能

CS-200z

CS-200z外观-装置正面 CS-200z外观-腔体打开是高真空交直流溅射设备.适用于金属、合金、陶瓷材料的高品质溅射成膜.

托盘方式外观

托盘方式：Ti材质托盘，任意形状wafer兼容.

设备构成概览

装置基本配置：

装置优势性能-1-省空间

占地面积：占地面积小，含操作维护空间1500×4500mm

装置优势性能-2-高集成化设计

搬运方式：装置集成化设计，搬运省时便捷.

装置优势性能-3-兼容好

Φ2、3、4…inch Ti Tray（Φ320mm ） 50*50 、 X*X Ti Tray （50*50）基板兼容性：任意形状基片兼容，只需更换托盘.

装置优势性能-4-操作方便

操作： ULVAC GPCS-2700 system onboard! PLC control + PC interface

装置优势性能-5-对话界面简洁

对话界面： english通用版.简洁易识别. 装置所有机构界面上都有显示，也可以操作.

装置优势性能-6-工艺菜单编辑简单

工艺菜单编辑界面：english版.操作简单易识别.

装置优势性能-7-log 功能

数据LOG： PC保存，可以导出EXCEL格式，便于分析.

装置优势性能-8-参数

装置施设参数

施设要求：点击查看详细.

装置生产现场-无尘车间

生产现场：

装置在无尘车间中生产，保证真空设备高品质.

深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供日本Ulvac返回式磁控溅射装置CS-200Z，nullCS-200Z产地为日本，属于进口光学平台，除了日本Ulvac返回式磁控溅射装置的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学平台,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。

问商家

光学平台CS-200Z的工作原理介绍光学平台CS-200Z的使用方法?CS-200Z多少钱一台?光学平台CS-200Z可以检测什么？光学平台CS-200Z使用的注意事项？CS-200Z的说明书有吗？光学平台CS-200Z的操作规程有吗？光学平台CS-200Z报价含票含运吗？CS-200Z有现货吗？