| 型号： | RTP-150 |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | |
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德国UnitemP真空快速退火炉RTP-150, 单晶圆，150mm，最快升温速率可达150K/s
· 6”单晶圆
· 升温速率可达到150K/s
· 7“液晶触控面板操作
· SPS SIMATIC 软件控制
· 真空度可达10^-3hPa
· MFC 控制
特点
· 精确控制快速升降温速率
· 优异的温度均匀性
· 可升级4 路工艺气体（MFC）
· 集成数据存储
· 红外卤素灯加热
· 不少于50 个可编程序，50 步
· 小型化设计
应用
· 离子注入退火与电极合金化
· RTP, RTA, RTO, RTN
· 不同气氛下退火，氧气、氮气等常见气体
· SiAu，SiAl，SiMo 合金化
· 低k 电介质
· 晶相化和坚化、、、
德国RTP-150 真空快速退火炉
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技术参数:
样品尺寸: 150mm 直径
最高温度: 1200℃
温度均匀性: ≤1.5% @设定温度
升温速率: 升温速率
降温速率: T=1000℃→400℃:200K/min，T=400℃→100℃：30K/min
真空度: 可达10^-3hPa
样品室材质： 石英玻璃腔体带通用石英载物台
样品室高度： 18mm 134×169×18mm
工艺室尺寸：（W×D×H）
加热方式：24只红外卤素灯（21kW）上下排列加热
工艺气体：MFC 控制（ 氮气5nlm）
控制系统：SIMATIC，50 个可编程序，50 个步
样品室冷却：水冷静
基片冷却：气冷
设备：
设备尺寸：505mm×525（700）mm×570mm（W×D×H）
重量：55kg
水电：CEE 3×32A, 230V, 3~ + N + PE,
选配：
1. RTP-H2：氢气气路含安全装置（传感器和氢气检测器）
2. RTP-H2S：硫化氢气路含安全装置（防护罩和传感器）
3. RTP-MFC：其他工艺气路，MFC 控制，最多4 路
4. RTP-OxAtAn：氧气分析仪用以测量氧气残余
5. RTP-MM： 湿度分析仪用以检测样品室湿度
6. RTP-SW： 开关箱
7. RTP-TC： 额外的热电偶
8. RTP-VAC I： 真空测量系统，本底真空到3hPa，真空规，真空阀，不包含真空泵。
9. RTP-VAC II：真空测量系统，适用真空到10^-3hPa，皮拉尼真空规，真空阀，不包含真空泵。
10. RTP-VCR：VCR 管（焊接）
附件：
1. RTP-GP-150：石墨托盘or 适配器（选配：SiC 涂层）
2. RTP-GP-100：石墨托盘or 适配器（选配：SiC 涂层）
3. RTP-QR-50：50mm 晶圆基座（石英）
4. RTP-QR-75：75mm 晶圆基座（石英）
5. MP：隔膜泵，真空：3hPa
6. RVP：旋片泵or 干泵，真空：10-3hPa
RTP-150 的实际温度曲线
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