电子束光刻机（多功能超高精度电子束光刻机P21）
依托垄断性专利技术，百及纳米推出国际领先的超高精度大面积写场电子束光刻机 P21 系列。 百及纳米首次开发了新一代电子束光刻机的电子束闭环控制新原理。百及超高精度电子束光刻机 P21 是第一款新一代电子束光刻机的代表，在著名电子束光刻机制造商德国 Raith 公司的成熟机型上 升级而成。该系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三个型号，区别主要在于样品尺寸（2，4，6 英寸晶圆）及扩展使用功能。P21 不仅完整地保留了原电子束光刻机的整体功能，且集多项国际领先的关 键指标于一身，包括：
• 国际上首次开发的新颖电子束闭环控制系统，能够实现电子束的原位检测与校正;
• 国际领先的写场拼接精度≤2 nm;
• 电子束光刻的长期稳定性。精确校正电子束的空间漂移，将其位置稳定性提高到≤10 nm/h； 有利于通过提高电子束光刻时间实现大尺寸图形的曝光需求。
百及纳米的 P21 系列以常规电子束光刻机为载体，通过独家专利技术对其进行功能及性能指标的大幅提升。P21 光刻机组件均为德国原装制造，以高品质、高性能满足客户的科研高端需求，实现新 一代超高精度电子束光刻功能。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21（多功能超高精度电子束光刻机P21），百及纳米P21产地为德国，属于进口光学平台，除了百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21（多功能超高精度电子束光刻机P21）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供日本RION液体光学颗粒度仪KS-42B/42BF、日本RION气体粒子计数器KC-20A、液体光学颗粒度仪,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
工商信息
信息已认证
