中科院微电子研究所 匀胶机旋涂仪KW-4A

中科院微电子研究所 匀胶机旋涂仪KW-4A

参考价:¥8500
型号: KW-4A
产地: 北京
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产品详情

技术参数及要求:

基片尺寸: φ5-100mm圆片,最/大 100×100mm 2 方片

转速: 500-8000转/分

转速稳定性: 1%

旋涂均匀性: 1

旋涂工艺阶段: 2 段

旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最/大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最/大(0~180S)

整机尺寸( 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

电机功率: 40W

适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料

配套 无油真空泵参数:

型号: K W 550A/KW 550T

抽速: 1 .5 升 秒

功率: 3 20W

噪音: 50db

ZUI低真空度: 700mmHg

重量: 7.3 Kg

尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率: :>60L/min


北京通世华港设备有限公司为您提供中科院微电子研究所 匀胶机旋涂仪KW-4A,nullKW-4A产地为北京,属于国产匀胶机,除了中科院微电子研究所 匀胶机旋涂仪KW-4A的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多匀胶机,华港科技客服电话,售前、售后均可联系。

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