型号: | KW-4A |
产地: | 北京 |
品牌: | |
评分: |
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技术参数及要求:
基片尺寸: φ5-100mm圆片,最/大 100×100mm 2 方片
转速: 500-8000转/分
转速稳定性: 1%
旋涂均匀性: 1
旋涂工艺阶段: 2 段
旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最/大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最/大(0~180S)
整机尺寸( 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm
裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm
电机功率: 40W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料
配套 无油真空泵参数:
型号: K W 550A/KW 550T
抽速: 1 .5 升 秒
功率: 3 20W
噪音: 50db
ZUI低真空度: 700mmHg
重量: 7.3 Kg
尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率: :>60L/min
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