| 型号： | Themis SS / TEM |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | 赛默飞 |
| 评分： |
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透射电子显微镜
佳图像分辨率和高分析效率的完美结合
Themis SS / TEM是80-200kV扫描/透射电子显微镜（S / TEM），用于半导体器件的高速成像和分析。作为行业标准Themis系列的新成员，Themis S TEM继承了佳空间分辨率高效化学分析的独特组合。
高分辨率和高通量分析的佳组合。镜头配置使此功能仅在Themis列上可用。它提供了佳的图像分辨率以及的EDS效率。
得信赖的测量精度。当测量不确定度≤2％时，关键尺寸测量是可信赖的，可重复的和一致的。
高的多功能性。光学，化学检测，宽间隙极靴和独特的应用软件的结合确保了平台涵盖的广泛应用。
Themis SS / TEM通过结合使用压电平台和漂移校正框架积分（DCFI）来补偿快的数据采集时间，以补偿可能的样品漂移。这使得在样品加载后仅几分钟就可以在TEM和STEM模式下获取高质量的高分辨率图像。
为了优化生产率，Themis SS / TEM使用双线圈定焦镜来大程度地减少热漂移并大化系统吞吐量。当在模式之间切换时，例如从低倍率模式更改为特征搜索而从高倍率模式更改为成像时，这种设计消除了镜头中的热量变化。
Themis S TEM具有亚?分辨率，快的能量色散X射线光谱（EDS）收集能力，并能够灵活地应对其他关键的半导体用例，例如应变测量和低剂量，高对比度成像（iDPC） 。Themis S TEM解决了需要高通量，高质量和多功能性的材料分析实验室的需求，特别是在20nm以下技术节点工作的半导体故障分析实验室。
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