IDONUS,紫外LED光刻曝光系统UV-EXP150R_价格-皕赫科学仪器（上海）有限公司

产品详情

Idonus基于高功率LED和高档微透镜阵列的基础上提出了一个 GE MING性的紫外光照系统。
这个产品应用于光刻胶曝光工艺，适用多种基材。光照质量保证了高的同质性的临界尺寸和整个面上的侧壁角。实际上，由于使用了一种完全远心的光学，我们的设计提供了完美的稳定光照条件，即整个表面的高同质性的强度和低的发散角。

可以根据用户需求进行产品开发定制，可以极大缩短您的想法变成产品的时间。

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LED BENEFITS优点
目前随着LED技术的发展，紫外LED表现出了比汞光源更大的优势。
● 长寿命LED，测试不需要耗材
● 不需要每天校准，即刻稳定光照
● 有限的发热，这降低了空气冷却费用
● 低功率消耗
● 光源仅仅在曝光时开启（不需要快门）
● 用户可以根据需求进行照射系统定制。
也可以按照用户旧机器的尺寸设计照射系统，以替代旧的机器上的汞灯照射系统。

TYPICAL PERFORMANCES 典型参数
分辨率：0.5 μm
光学功率：20 to 200 mW/cm2
曝光区域：50x50 to 300x300 mm2
光学辐照不均匀性： ±2%
ZUI大发散角(FWHM) ：±1.5°to 3°
波长：365 / 385 / 405 nm
光谱半宽幅：12 nm
设备尺寸： 65x30x30 cm3
总功率：20 to 1200 W

EXAMPLE SYSTEM SPECIFICATIONS 系统规格举例可能的曝光系统的不同配置如下表所示，系统可以根据您的需要设计。
System Type 系统型号	A	B	C
Resolution [um] 分辨率	2	1	1
Optical power [mW/cm2] 光学功率	42	152	165
Exposition area [mm2] 曝光面积	80x80	100x100	300x300
Optical irradiance inhomogeneity [%] 光照幅度不均匀性	±2	±2	±2
Max divergence angle [°] (Full Width Half Maximum) 最大发散角（半宽幅）	±2.5°	±1.5°	±1.5°
Wavelength [nm] 波长	405	365	385
Spectrum half width [nm] 光谱半宽幅	12	12	12
System size [cm] 系统尺寸	65x30x30	65x30x30	1100x60x60
Power consumption [W] 功耗	20	180	1200

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企业名称: 皕赫科学仪器(上海)有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码: 91310114062543297Y
成立日期: 2013年02月07日
注册资本: 人民币1000.0000万元整
经营范围: 许可项目:货物进出口;技术进出口;进出口代理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:仪器仪表、电子设备、机械设备、工业自动化设备、五金产品、电线电缆、金属材料、电子产品、办公用品、劳防用品、汽车饰品、家居用品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事科学仪器技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，仪器仪表租赁(不得从事金融租赁),机械设备、机电设备维修(除特种设备)。(除依法顺经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

型号：	UV-EXP150R
产地：	瑞士
品牌：	IDONUS
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