型号: | SMA-150 |
产地: | 瑞士 |
品牌: | IDONUS |
评分: |
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荫罩掩膜对准器 Shadow Mask Aligner
设备简介:
本设备可以用于精确和可重建性的对准荫罩掩膜和晶圆。可以放于真空腔体用于PVD工艺。沉积后,夹盘可以打开,晶圆和掩膜可以不破坏的分离,并且掩膜板可以重复利用。
夹盘可以用于任何基底尺寸以满足用户的要求,并且我们也可以提供精确和经济的由金属、硅、玻璃、陶瓷等制造的荫罩掩膜。
产品型号:SMA-100,SMA-150,SMA-200
晶圆和荫罩尺寸:100mm,150mm,200mm,取决于设备的配置
样品台特征:
X和Y方向范围:步进10μm,灵敏度2μm
Z方向范围:步进10μm,灵敏度2μm
旋转角度:360°不间断
倾斜:工厂校准,工程师手动调节
对准精度(溅射后)
线性对准:典型值6μm, ZUI大值10μm
旋转对准:0.001°到0.009°
夹盘
晶圆尺寸:100mm,150mm,200mm
夹盘材料:阳极氧化铝或非阳极氧化铝
夹盘厚度:20mm取决于晶圆和掩膜的厚度
荫罩掩膜(客户可定制荫罩掩膜)
材料:硅、石英、玻璃、金属、陶瓷
仪器尺寸:500mm x 250mm
安装需求:用于对准过程中用来观察的显微镜、真空
注:可以根据用户的需求进行定制。
优点:
精确和可重建性的PVD涂层构建
用于PVD的减震夹盘
易用、对晶圆无损夹持机构
由于真空夹持,可以在对准的过程简单操作
可以用于不同的晶圆尺寸
不需要安装
低运行成本
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